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URE—2000/17型紫外光刻机

 

技术特点:

鼎盛彩票开户采用双目双视场显微镜对准;球碗调平,单片机控制,触摸开关,操作方便、实用性强。

主要技术指标: 

★ 曝光面积:fф100mm;

鼎盛彩票开户★ 分辨力:  1.7µm(胶厚2 µm的正胶);

★ 对准精度:  ±1µm;  

鼎盛彩票开户★ 掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm; 

鼎盛彩票开户★ 掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch; 

鼎盛彩票开户★ 样片尺寸:直径ф15mm-- ф100mm、

鼎盛彩票开户      厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm);

★ 照明均匀性:±6%(ф100mm 范围); 

鼎盛彩票开户★ 掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm;  Y: ±5mm; θ: ±6°;

★ 汞灯功率:200W(直流);★曝光方式:定时(倒计时方式)。 

 

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