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URE—2000A型紫外光刻机

 

主要技术特点: 

该机采用i线紫外曝光光源,光学系统采用特殊的消衍射和线条陡直增强技术,采用积木错位绳眼透镜实现高均匀照明,并配备了双目双视显微镜和CCD图象对准系统(可同时使用),曝光能量高,聚光角度小,突具厚胶曝光功能,曝光设定采用微机控制,菜单界面友好,操作简便。 

主要技术指标:

★ 曝光面积:150mm×150mm;

鼎盛彩票开户★ 分辨力:  0.8~1µm(胶厚2µm正胶); 

鼎盛彩票开户★ 胶厚500µm(SU8胶,据用户工艺条件); 

★ 对准精度:±0.6µm; 

★ 照明均匀性:±3.5%(ф100mm);±5.5%(ф150mm) 

★ 掩模尺寸:3inch、4inch、5inch、7inch;

鼎盛彩票开户★ 样片尺寸:直径ф15mm-ф150mm、厚度0.1mm-6mm; 

★ 汞灯功率:1000W(直流); 

鼎盛彩票开户★ 曝光方式:定时(倒计时方式0.1s~999.9s)。 

 

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